三维白光干涉仪
| 厂 家： | 中图仪器 |
| 型 号： | SuperView W1 |
| 主要技术指标： | 光源：白光LED； |
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影像系统：1024×1024； |
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干涉物镜：10×，20×，50×，3孔手动物镜搭台； |
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光学ZOOM：0.5×； 标准视场：0.98×0.98mm； |
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XY位移平台，负载10Kg，电动控制，尺寸：320×200mm，移动范围：140×100mm，水平调整±5°； |
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Z轴聚焦， 电动控制，行程：100mm，Z向扫描范围：10mm，Z向分辨率：0.1nm； |
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可测样品反射率：0.05%~100%；粗糙度RMS重复性：0.005nm； 台阶测量，准确度：0.5%，重复性：0.1% 1σ。 |
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联 系 人： |
梁国涛 |
| 电 话： |
020-89851124 |
